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相干公司成立于1966年,是世界领先的激光器及相关光电子产品生产商。在高度尖端的光学产业中,相干以高可靠性、高性价比的独特优势享誉业界,产品广泛服务于科研及商业应用中,具体应用包括微电子、材料加工、OEM组件、图像与显示、科学研究等。
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准分子激光器
准分子激光是紫外电磁波谱范围中最为强大的多功能光源。凭借其冷烧蚀及短波长特性,准分子激光器被广泛地应用在各种领域。
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相干公司能够提供具有不同性能水平的优化的并实地验证的系列准分子激光产品。

  • 紧凑的紫外(UV)光源
  • 高功率准分子激光器
  • 光束传输系统

准分子激光应用包括

  • 激光视力校正
  • 脉冲激光沉积
  • 微加工
  • 卷轴式直接刻图
  • 激光退火
  • 布拉格光纤光栅刻写

相干公司提供的准分子激光产品具有如下紫外激光波长:

157 nm, 193 nm, 248 nm, 308 nm351 nm

 

ExciStar™ XS Series
超紧凑、轻重量的高可靠性紫外(UV)光源

VYPER
双光束准分子激光系统, 可以实现脉冲能量2J, 重频600Hz的高功率紫外激光输出

Xantos XS
世界上第一台内置预混气瓶的准分子激光器

IndyStar Series
重复频率高达1000Hz的小型准分子激光器

BraggStar Industrial (BSI) Series
具有极高相干性的多功能紫外(UV)光源

BraggStar M
优化了空间相干性的高脉冲能量准分子激光器

COMPexPro® Series
具有中等平均功率水平,可用于材料加工、科学研究及医学OEM系统

LPXpro® Series
中等功率 F (193, 248, 351 nm), XeCl (308 nm)F2 (157, 193 nm)型多用途准分子激光,可提供广泛的紫外能量选择

LAMBDA SX
输出紫外功率可达130W的经济型工业级KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光器

LEAP SERIES
输出紫外功率可达130W的经济型工业级KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光器

 

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