相干公司能够提供具有不同性能水平的优化的并实地验证的系列准分子激光产品。

• 紧凑的紫外(UV)光源
• 高功率准分子激光器
• 光束传输系统

准分子激光应用包括

• 激光视力校正
• 脉冲激光沉积
• 微加工
• 卷轴式直接刻图
• 激光退火
• 布拉格光纤光栅刻写

相干公司提供的准分子激光产品具有如下紫外激光波长：

157 nm, 193 nm, 248 nm, 308 nm 及 351 nm。

ExciStar™ XS Series
超紧凑、轻重量的高可靠性紫外(UV)光源

Xantos XS
世界上第一台内置预混气瓶的准分子激光器

IndyStar Series
重复频率高达1000Hz的小型准分子激光器

BraggStar Industrial (BSI) Series
具有极高相干性的多功能紫外(UV)光源

COMPexPro® Series
具有中等平均功率水平，可用于材料加工、科学研究及医学OEM系统

LPXpro® Series
中等功率 F (193, 248, 351 nm), XeCl (308 nm)或 F2 (157, 193 nm)型多用途准分子激光，可提供广泛的紫外能量选择

LAMBDA SX
输出紫外功率可达130W的经济型工业级KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光器

LEAP SERIES
输出紫外功率可达130W的经济型工业级KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光器

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准分子激光产品目录 2009

激光应用领域

• 3D微结构加工
• 皮肤病治疗
• 深紫外(DUV)微刻蚀
• 青光眼手术
• 激光视力校正
• 医学应用
• 微加工
• 采用工业激光器的微加工
• 脉冲激光沉积
• 光谱学

文献&文档

• 应用报告：光刻掩膜应用
• 应用报告：近视眼屈光性人工晶体(IOL)刻蚀
• 应用报告：准分子激光用于敏感表面清理
• 应用报告：准分子激光用于高级晶片标记
• 应用报告：准分子激光用于布拉格光纤光栅刻写
• 应用报告：准分子激光用于LASIK视力校正手术
• 应用报告：激光激活的蒸汽相位工艺用于纳结构电子学制造
• 应用报告：采用准分子激光器进行相移掩膜测量
• 汽缸搪磨(视频 14MB)
• 准分子激光退火(视频 10.2MB)
• 激光直接刻图(视频8.4MB )
• LASIK视力校正手术(视频 1.6MB)
• 连续横向结晶(SLS)技术(视频 11.1MB)
• 准分子激光应用方案手册
• 准分子激光产品目录 2009