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| 准分子激光器 |
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Coherent（相干）公司于2004年5月收购Lambda
Physik公司，于2005年4月收购Tui Laser，是世界上最大的准分子激光器生产厂家。
Lambda Physik是最知名的准分子激光器生产厂商，成立于1971年，专门研究紫外激光器及其应用，有着超过30年的准分子激光器生产经验，拥有超过100项专利。
Lambda Physik公司30多年以来一直引领脉冲紫外技术的发展，在世界范围内已经安装超过10,000套激光系统，与科研和先进工业界一起，推动了日益先进的激光器在科学、医疗和工业等领域的应用。
在Lambda Physik，我们还拥有全世界最可信赖的紫外光束整形、控制和传输系统，称为MicroLas产品线；以及开发和制造紫外光学系统、光学模块和元件，为各种准分子激光应用服务。
Lambda Physik 也积极地投入到下一代“极度”紫外光源（Extreme UV）的开发计划中，为此而专门成立的XTREME技术部，正在开发用于EUV光刻的13.5nm波长高亮辐射源。
Lambda Physik在中国国内已经安装有超过200台准分子激光器，Coherent中国代表机构从2004年7月起全面接手Lambda
Physik 在中国的销售和维修工作。
Coherent更于2005年4月兼并了Tui Laser，进一步扩充了准分子激光器生产能力。Tui Laser拥有的小能量准分子激光器制造技术是对Lambda
physik 原有生产能力的良好补充。
现在，Coherent (相干)公司可以满足您对准分子及紫外光激光器的全面要求，以我们专业和全球化的服务支持与您一起开拓更广阔的应用领域。
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