| 描述 |
零件编号（对应波长） |
输出耦合器，镀介质膜，所有波长
不带安装架的窗片，镀介质膜，
φ = 38.1 mm
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952544 |
后腔镜，镀铝，所有波长
不带支架的窗片，镀铝，
φ = 38.1 mm
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952546 |
后腔镜，镀介质膜
不带支架的窗片，镀介质膜，φ = 38.1 mm，与镀铝镜片可互换，但在使用光束准直器时必要
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952547 (193 nm)
952566 (308 nm) |
952548 (248 nm)
952549 (351 nm) |
激光管封离镜, 镀增透膜
不带支架的基底, 镀增透介质膜,
φ = 38.1 mm
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952930 (193 nm)
952774 (308 nm) |
952528 (248 nm)
952775 (351 nm) |
镜片安装架
谐振腔镜和激光管锋利镜安装架 |
26210310 (00非稳腔镜片支架)
26210312 (50激光管封离镜支架) |
| 卤素过滤器 |
261068 |
光束准直器
红光LD和准直机构，需要使用镀介质膜的后腔镜
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907168 |
200/300系列非稳腔镜
用于LPXPro 200/300 系列；包括前、后腔镜，需要另配非稳腔的适配器和镜片支架。非稳腔结构不采用外谐振腔设计
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零件编号
(对应波长) |
26083010
(193 nm) |
26083110
(248 nm) |
26083210
(308 nm) |
26083310
(351 nm) |
发散角 1)
( v x h) |
0.4 x 0.4 mrad |
0.4 x 0.4 mrad |
0.4 x 0.4 mrad |
0.4 x 0.4 mrad |
| 效率 2)(近场) |
50% |
70% |
70% |
70% |
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同步单元
在主触发信号和激光脉冲之间形成固定的延迟，消除在激光器重复频率或者放电高压调整时可能造成的管温度变化。如果要同步两个准分子激光器，需要两个同步单元。
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26113310(为新激光器选装) |
26113311
(为旧激光器进行升级) |
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1) 50%能量的全角，从聚焦光束的焦点测量
2) 与特定的稳腔输出有关，远场效率在10米处测量 |
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