| 描述 |
零件编号（对应波长） |
输出耦合器，镀介质膜，所有波长
不带安装架的窗片，镀介质膜，
φ = 38.1 mm
|
952544 |
后腔镜，镀铝，所有波长
不带支架的窗片，镀铝，φ = 38.1 mm
|
952546 |
后腔镜，镀介质膜
不带支架的窗片，镀介质膜，φ = 38.1 mm，与镀铝镜片可互换，但在使用光束准直器时必要
|
952547 (193 nm)
952566 (308 nm)
|
952548 (248 nm)
952549 (351 nm) |
镜片安装架
光学镜片固定机构
|
26154010 |
| 卤素过滤器 |
261068 |
光束准直器
红光LD和准直机构，需要使用镀介质膜的后腔镜
|
907168 |
100系列非稳腔镜
用于COMPexPro100 系列；包括前、后腔镜，需要另配非稳腔的适配器和镜片支架 |
零件编号
(对应波长) |
26082610
(193 nm) |
26082710
(248 nm) |
26082810
(308 nm) |
26082910
(351 nm) |
发散角 1)
( v x h) |
0.2 x 0.2 mrad |
0.2 x 0.2 mrad |
0.2 x 0.2 mrad |
0.2 x 0.2 mrad |
效率 2)(近场) |
30% |
70% |
70% |
70% |
|
200系列非稳腔镜
用于COMPex 200系列；包括前、后腔镜，需要另配非稳腔的适配器和镜片支架 |
零件编号
(对应波长) |
26083010
(193 nm) |
26083110
(248 nm) |
26083210
(308 nm) |
26083310
(351 nm) |
发散角 1)
( v x h) |
0.4 x 0.4 mrad |
0.4 x 0.4 mrad |
0.4 x 0.4 mrad |
0.4 x 0.4 mrad |
效率 2)(近场) |
60% |
70% |
70% |
70% |
|
非稳腔适配器
非稳腔的机械适配器，包括一个5° 窗片（φ = 38.1 mm）和非稳腔镜的机械连接和适配装置；
用于COMPexPro 100和200系列非稳腔镜
|
262456 |
温度稳定模块
冷却水流量和温度控制的机械结构和阀门，促进COMPexPro在低重复频率下激光管温度稳定和输出稳定。必须和新系统一起订货
|
26241650 |
Halo Safe 卤素发生器，F2 *
卤素气体容器，独立固定于激光管外，可提供50次卤素气体再充气，充气动作可通过控制盒操作完成
|
26226060 |
Halo Safe 卤素发生器补充装，F2
*
原装卤素发生器用尽后，可购买补充装。必须退回原来的空罐，更换工作建议由专业维修人员进行。补充装可提供50次再充气
|
47300005 |
同步单元
在主触发信号和激光脉冲之间形成固定的延迟，消除在激光器重复频率或者放电高压调整时可能造成的管温度变化。如果要同步两个准分子激光器，需要两个同步单元。
|
26113310
(为新激光器选装) |
26113311
(为旧激光器进行升级) |
1) 光束聚焦后测量，50%能量处，全角
2) 还与特定的稳定腔输出有关
*Halo Safe卤素发生器需在新激光器定货时购买；购买补充装时应退还原有发生器。已经安装的、老型号的Compex系列激光器也可以升级成带Halo
Safe卤素发生器，但需要加收20%的额外费用。卤素发生器完全受激光控制盒控制，必须安装于距激光器气体入口1米内的独立的、通风容器内。 |
电子邮件 
打印