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激光及相关产品激光器与激光系统 > LAMBDA SX 315C
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LAMBDA SX 315C


  • PowerLok 脉冲串稳定机制
  • TimeLok 触发-脉冲时间延迟和Jitter稳定装置
  • 软件可探测和记录每个脉冲的表现
  • 遥控盒控制,内置先进激光控制软件
  • RS-232 接口
  • 可充入保护气体的外谐振腔设计,有效地保护激光镜片,以及保证光束指向稳定性
  • 独特的平滑陶瓷预电离机制,保证均匀的光束能量分布和优秀的脉冲-脉冲稳定性
  • 先进的内部气体净化系统,有效延长气体和腔镜寿命
  • 滑动阀设计,令更换腔镜操作快速并安全
  • NovaTube? 技术,气体寿命和腔镜寿命有保障

LAMBDA SX™
315C是315W 高功率XeCl (308 nm) 工业级准分子激光器,性能卓越,可靠性强,是多项革新技术的结晶:

PowerLok
专利的PowerLok™技术采用实时监测和闭环控制手段,保证脉冲串里的每一个脉冲输出设定的能量水平

TimeLok
SX 315C采用了全固态的高压开关,配合专利的TimeLok?技术采用实时监测和闭环控制手段,保证每个脉冲的触发-脉冲延迟时间稳定。

在线诊断和记录
系统的缓冲器里储存着最近的10,000个脉冲的能量、开关高压值和Sigma稳定性,并且连续地更新,可供下载用做诊断依据。


 
 
 
 
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产品资料
 
●  LAMBDA SX 315C Data Sheet
●  LTPS white paper

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