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OPTexPro

小能量准分子激光器


OPTexPro体积小巧、性能优异,特别适合眼科、以及一般科学研究需要。激光器采用模块化设计,空气冷却操作维护方便,灵活性高。

OPTexPro可提供如下波长:157nm、193nm、248nm、308nm、和351nm。-Pro系列对原有的激光器进行了一系列的改进和提高包括使用了免维护固态开关、平滑的预电离技术、改善气体流动和强化气体温度控制以提高整体表现和效率、延长激光管寿命。激光器可以连续、不间断地运转在200Hz重复频率;当工作在500Hz 频率时,激光器会在过热时自动保护停机。

应用包括:
  • 视力矫正(LASIK, PRK)
  • 皮肤病治疗(银屑病等)
  • 掩模和硅片检测
  • 表面分析
  • 光学镜片质量控制
  • 材料处理
  • 光化学(LIF, RMPI,质谱学)
  • 短脉冲放大
主要参数
OPTexPro F2 ArF KrF XeCl XeF
波长(nm) 157 193 248 308 351
最大脉冲能量(mJ) 1 10 17 8 8
最大平均功率(W) 0.5 4 8 4 3
最大重复频率1(Hz) 500 500 500 500 500
能量稳定性(% 1σ) 3 3 3 3 3
脉冲持续时间
(ns, FWHM, typ.)
10 10 10 10 10
光束尺寸
(mm, v x h, FWHM, typ.)
6x3 6x3 6x3 6x3 6x3
尺寸(长 x 宽x 高) 激光头: 605 x 304 x 450 mm3  
重量 激光头:73 kg  
1)<200Hz重复频率时可以工作在连续、不间断模式下
常用零备件
描述 零件编号(对应波长)
输出耦合器,镀介质膜
不带安装架的窗片,镀介质膜,φ = 20 mm
95303810 (193 nm)

952719 (308 nm)
952740 (248 nm)

952741 (351 nm)
后反镜,镀介质膜
不带支架的窗片,镀介质膜,φ = 20 mm
95303710 (193 nm)

952712 (308 nm)
952711 (248 nm)

952713 (351 nm)
镜片安装架
光学镜片固定机构
263285
卤素过滤器 907080
触发转换单元(TWE)
外置的触发信号转换单元,将电触发脉冲转变为光学脉冲(或反过来),从而可以通过外触发方式控制OPTexPro。
909659
T模块 265943(包括T模块、布儒斯特窗和安装架)
波长可调谐选项
(193 nm和248 nm)
 
布儒斯特镜片
用于T模块上
265941
 
 
 
 
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